中国囤积343台浸没式DUV光刻机以支持先进芯片制造

据华盛顿特区的“技术与国策研究中心”（Centre for Technology & Statecraft，简称 CTS）的一份报告显示，2012 年至 2026 年初，中国芯片厂商已累计获得约 343 台浸没式 DUV 光刻机。其中许多可用于制造 7nm 级制程工艺的芯片。该机构断言，尽管中国无法采购 ASML 更先进的 EUV 系统，但现有设备使中国晶圆厂具备了生产高端处理器的巨大潜力。虽然中国芯片厂商拥有的 ArFi 设备总数看似合理，但部分其他估算则存疑。

近年来，随着美国政府忙于对半导体行业实施各种限制，中国在晶圆制造设备的采购上表现得尤为激进。自 2012 年以来，包括逻辑芯片和存储芯片制造商在内的中国芯片厂商已从 ASML 进口了 343 台浸没式 DUV 光刻扫描机，该统计排除了位于中国境内的跨国晶圆厂的进口量。

报告作者认为，现有的出口管制存在重大漏洞，因为原本为较先进制程工艺获取的光刻设备，实际上可被重新分配用于更精密的制程，例如 7nm 级节点（业界于 2018 至 2019 年采纳）。虽然这种重新分配需付出成本，但在无其他选项的情况下，中国芯片厂商别无选择。他们提议禁止向出口任何浸没式 DUV 系统，并限制为先进晶圆厂安装的设备提供替换组件和维护服务。这一提议与四月份提出的两党 MATCH 法案保持一致。

CTS 声称，这 343 台浸没式 DUV 设备中有 270 台是 ASML 的 Twinscan NXT:1980i 扫描仪。该设备具备 38nm 的分辨率和 2.5nm 的多重图形匹配对准能力，这对 7nm 级节点的多重图形工艺至关重要，可用于制造 7nm 级制程技术的芯片。此外，CTS 指出，中国晶圆厂还拥有 22 台 NXT:2050i 和 6 台 NXT:2000i 系统。目前尚不清楚，已运往中国的 296 台先进浸没式 DUV 扫描仪中有多少台仍在运行。

2023 年 9 月，荷兰当局对 ASML NXT:2000i 及更先进的浸没式 DUV 扫描仪实施出口许可制度，实际上切断了这些设备对中国的供应。因此，中国芯片厂商只能退而选择性能最低的 NXT:1980i。据 CTS 估算，中国晶圆厂在 2024 年采购了约 90 台 NXT:1980i 扫描仪，2025 年又购入 89 台，两年合计花费超过 130 亿美元。虽然荷兰在 2024 年 9 月将 NXT:1980i 也纳入出口管制，但该型号的单独出口申请仍有可能获批。此外，ASML 理论上还能向中国客户出售 NXT:1965Ci 系统，只是尚不确定其是否备齐了这些老旧机型所需的全部零部件。

ASML 自身的业绩也印证了中国市场异乎寻常的旺盛需求：2024 年，中国占其按出货目的地计算的系统净销售额的 41%，2025 年为 33%。随后这一比例在 2026 年第一季度降至 19%，第二季度进一步降到 14%——这正是 ASML 此前预警过的趋势。

需要注意的是，CTS 给出的数据——2024 年约 90 台、2025 年 89 台 NXT:1980i——无法从 ASML 公布的财务数据中独立推算出来。ASML 的披露充其量只能作为交叉验证：中国确实恰好在那两年是异常庞大的市场，而 ASML 在 2024 年和 2025 年分别在全球售出 129 台和 131 台 ArFi 系统。如果 CTS 的数字属实，那么尽管 2024 年出台了出口管制，中国芯片厂商仍分别买走了 ASML 浸没式 DUV 设备产量的 70% 和 68%，占了绝对大头。与此同时，NXT:1980Di 在二手市场上也随处可寻。